瑞士VAT真空閘閥板96603-01

1. 基礎(chǔ)信息

• 原廠零件號：96603-01

• 適用閥門型號：VAT 96600系列高真空閘板閥

• 材質(zhì)：不銹鋼316L（電解拋光EP級）

• 表面處理：Ra≤0.1μm（鏡面拋光）

2. 核心參數(shù)

3. 結(jié)構(gòu)特點

• 雙面密封設計：

• 主密封面：錐形金屬密封（銅或不銹鋼）

• 次級密封：可選彈性體密封（如VITON®）

• 導向系統(tǒng)：

• 精密直線導軌（摩擦系數(shù)<0.001）

• 驅(qū)動接口：

• 標準適配VAT氣動執(zhí)行器（如96100系列）

4. 兼容閥門型號

5. 安裝與維護

• 安裝步驟：

1. 清潔閥腔（使用無塵布+高純酒精）

2. 預裝密封圈（需專用安裝夾具）

3. 閥板插入后手動測試滑動阻力（應≤5N）

• 扭矩要求：

• 法蘭螺栓扭矩：20~25 Nm（ISO-KF160）

6. 使用壽命指標

7. 磨損檢測方法

• 光學檢測：

• 使用白光干涉儀測量密封面劃痕（深度≤0.5μm為安全）

• 性能測試：

• 氦質(zhì)譜檢漏（閥板閉合狀態(tài)下≤1×10?? mbar·L/s）

8. 替代方案對比

該閥板需配合 VAT 229310系列密封圈 使用。對于半導體設備，建議每2年或10?次循環(huán)強制更換。定制版本（如鍍鋁氮化硅涂層）交貨期需額外增加8周。

瑞士VAT真空閘閥板96603-01